Date: Time:
Precursor, options: ['TMA', 'Ti', 'Hf', 'DEZ', 'Si', 'Li'], current value: Ti
Precursor, options: ['TMA', 'Ti', 'Hf', 'DEZ', 'Si', 'Li'], current value: TMA
Precursor, options: ['TMA', 'Ti', 'Hf', 'DEZ', 'Si', 'Li'], current value: Si